“零泄漏”: 通過磁力耦合傳動技術,徹底取消動密封,依賴隔離套形成的靜密封屏障來實現。不銹鋼結構確保了靜密封連接(如焊接)的可靠性和耐久性。
“耐高低溫”:
不銹鋼泵體/部件: 提供基礎的耐高溫氧化、耐低溫脆化、耐腐蝕能力和良好的熱膨脹匹配。
高溫/低溫磁體:確保在極端溫度下磁傳動系統仍能穩定可靠工作(高溫不退磁,低溫性能穩定)。
在半導體制造中,納米級工藝對溫度波動容忍度近乎為零!冷卻系統的微小泄漏或污染,可能導致晶圓良率暴跌、設備停機損失百萬。如何為精密Chiller匹配一顆“絕對可靠的心臟”?